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靶材表面裂纹形成原因分析

作者
佚名
来源
中国应急分析测试平台
发布时间
2015-12-24
关键词
钢管；泄漏；点腐蚀；硫；氯
领域
金属材料领域
摘要
来样为3块Ti-Al合金靶材，工作时在温度为300~500℃的真空条件下溅射。通过断口分析、
正文
摘要：来样为3块Ti-Al合金靶材，工作时在温度为300~500℃的真空条件下溅射。通过断口分析、 金相组织和硬度检验，结果表明：国产靶材的裂纹主要与不均匀溅射减薄以及溅射过程中产生的热应力有关。国产靶材铸造时的冷却速度明显低于进口件，硬度较低，组织存在明显的各向异性。 关键词：靶材；裂纹；应力；表面缺陷

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