钨灯丝扫描电子显微镜EVO MA 10/LS 10
- 仪器编号
- EVO MA 10/LS 10
- 照片
-
- 生产厂家
- 欧波同有限公司
- 仪器介绍
- 分辨率：3.Onm@ 30KV(SE and W)4.0nm@30KV(VP with BSD)加速电压：0.2-30KV放大倍数：7-1000000x 探针电流：0.5PA-5μAX-射线分祈工作距离：8.5mm 35度接收角低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)工作室：310mm(φ)×220mm(h)5轴优中心自动样品台：X=80mm Y=100mm 2=35mmT=-10°-90° R=360°最大试样高度：100mm，最大试样直径：200mm系统控制：基于Window
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