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钨灯丝扫描电子显微镜 EVO MA 15/LS 15

仪器编号
EVO MA 15/LS 15
照片
生产厂家
欧波同有限公司
仪器介绍
分辨率:3.0nm@ 30KV(SE and W) 4.0nm@ 30KV(VPwith BSD)加速电压:0.2-30KV放大倍数:5—1000000x 探针电流:0.5PA-5μA X- 射线分析工作距离:8.5mm 35度接收角压力范围:10—400Pa (LS15:环扫模式10-3000Pa) 工作室:365mm(φ)×275mm(h)5轴优中心自动样品台:X=125mm Y=125mm Z=50mmT=-10°-90° R=360° 最大试样高度:145mm,最大试样直径:250mm 系统控制: