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钨灯丝扫描电子显微镜EVO18

仪器编号
EVO18
照片
生产厂家
欧波同有限公司
仪器介绍
1、分辨率:3.0nm@30KV (SE与W) 4.0nm@30KV(VPwith BSD) 2、加速电压:0.2-30KV 3、放大倍数:5-1000000x 4、探针电流:0.5PA-5μA 5、X-射线分析工作距离:8.5mm35度接收角 6、低真空压力范围:10-400Pa(选配10-750Pa、LS10:环扫模式10-3000pa)7、工作室:365mm(φ)×275mm(h) 8、5轴优中心自动样品台:X=125mmY=125mm Z=50mm T=-10°- 90° R=360°(I连续)