场发射扫描电镜SIGMA 300
- 仪器编号
- SIGMA 300
- 照片
-
- 生产厂家
- 欧波同有限公司
- 仪器介绍
- 分辨率：1.2nm@ 15kV 2.2nm@ 1kV放大倍数：10-10000x 加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）探针电流：4pA-20nA（40nA&100nA可选）低真空范围：2-133Pa（Sigma 300VP可用）样品室：365mm（φ），275mm(h)样品台：5轴优中心全自动 X=125mm Y=125mm Z=50mmT=-10°-90° R=360° 连续
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