场发射扫描电镜SIGMA 500
- 仪器编号
- SIGMA 500
- 照片
-
- 生产厂家
- 欧波同有限公司
- 仪器介绍
- 分辨率：0.8nm@15kV 1.6nm @ 1kV 放大倍数：10-10000x 加速电压：调整范围：0.02-30kV（无需减速模式实现）探针电流：4pA-20nA（40nA＆100nA可选）低真空范围：2-133Pa（Sigma 500可用）样品室：358mm（φ），270.5mm(h) 样品台：5轴优中心全自动 X=125mm（可选130mm）Y=125mm（可选130mm）Z=50mm T=-10°-90° R=360° 连续
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