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等离子清洗仪

仪器编号
SOLARUS (950)Plasma Cleaning System
照片
生产厂家
欧波同有限公司
仪器介绍
技术参数：射频源：50瓦的射频电源，具有功率自动匹配功能；真空系统：70升/秒的分子泵搭配两级隔膜泵；气压：5E-6 Torr 基本压力，400mTorr工作压力；真空规：紧凑的皮拉尼规；舱室：两个前置接口能装载TEM适配器，用于装载侧插TEM样品杆和SEM样品杆；顶部入口用于放入SEM样品台，显微镜镜筒部件或者各种真空件；舱室尺寸为3.5”直径×2.0”深度前置观察窗能观察工作时的等离子体发光；内置的电磁阀将舱室与真空泵之间隔离开，抽真空时间不到1分钟，放气时间小于5秒。

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