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新型Mems测试平台
仪器编号
MCP Mems
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生产厂家
北京培科创新技术有限公司
仪器介绍
产品特点:10Ff-lOOpF电容测量范围;<;1fFrms电容检测分辨率;超过130kHz动态电容变化量;“In-operation”特性描述;压敏电阻检测(可选);最大传感电容:15pF;精确度在3%以内;50mV(+/-50V》运行电压;Low-Q时MEMS响应数据。
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