超高分辨双束聚焦扫描电镜系统
- 仪器编号
- S8000G
- 照片
-
- 生产厂家
- TESCAN
- 仪器介绍
- 无磁场超高分辨成像，可以最大化的实现各种分析，包括磁性样品的分析，以及在FIB操作时SEM的实时监测。新的场发射Schottky电子枪最大电流可达400 nA，并支持快速电子束能量变化，可支持各种设备分析需要的束流强度。电子束减速技术进一步加强了低电压下的分辨率，并能同时探测SE和BSE信号，更适合分析不导电样品、生物样品等。创新的OrageTM Ga FIB镜筒保证绝佳的离子分辨率，2.5 nm@30 keV，最低电压可达500 eV。FIB束流最大可达100 nA，SmartMill级别的高速切割，只
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