高分辨氙离子聚焦离子束扫描电镜
- 仪器编号
- XEIA3
- 照片
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- 生产厂家
- TESCAN
- 仪器介绍
- SEM分辨率：二次电子：0.7 nm@ 15 keVBDT 模式：1.Onm@1 keV 1.2nm@200Vln-beamLE-BSE: 1.6nm@15 keV 低真空：BSE:2 nm@30 kV；LVSTD:3 nm@ 30 kVFIB 分辨率：< 25nm@30keV(可选配：<15nm@30keV)
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