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超高分辨场发射扫描电镜

仪器编号
MAIA3
照片
生产厂家
TESCAN
仪器介绍
配置了新开发的超高分辨电子光学镜筒并配备TriLensTM物镜及先进的探测系统超高分辨率物镜（60度浸没式物镜），全新的用于高分辨率分析工作的无漏磁分析物镜，重新设计用于超大视场观察的中间镜。新的肖特基场发射电子枪能使电子束流高达400nA并能实现电子束能量的快速改变。通过扩展样品室和专用支架能达到12”晶圆的SEM观察。电子束减速技术(BDT)能在低至50eV的低电压下，也仍具有出色的分辨率。扩展的低真空模式样品室气压能达到500Pa，可用于不导电样品的成像。超高分辨率0.7@15keV，1.0nm@1

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