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高纯硅烷杂质分析氦离子专用色谱仪

仪器编号
GC-126PDD/SiH4
照片
类型名称
气相色谱
仪器参数
  • 适用领域
    高纯气体分析专用
    • 生产厂家
    克柔姆
    仪器介绍

    www.hzchrom.com    













    -----克柔姆网站 
     

    • 仪器的应用范围：

    1.本仪器主要应用于高纯硅烷气体中微量杂质的分析，具体内容详见下表：



    气体种类 需分析的杂质种类
    He H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn
    仪器的最小
    检测限（PPb）    		 15 30 10 50 10 10 30 30 50
     

    二.系统依据的相关标准:
     
    1、电子气标准
    GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》

    2.仪器的详细配置（供货明细）：
    仪器名称
    型号规格    		 厂家 单位 数量 备注
    氦离子化气相色谱仪GC-126PDD 上分厂/
    克柔姆    		 台 1 配备PDHID氦离子化检测器
     
    多柱箱系统    		  
    上分厂/
    克柔姆    		  
    套    		  
    1    		 可以根据分析的需要设置不同的柱箱温度，以满足样品分离的需要
     
    中心切割与
    反吹系统:
    吹扫十通阀2只;
    吹扫六通阀3只.    		  
     
    VALCO    		  
     
    套    		  
     
    1    		 配备3个带吹扫保护气路的原装进口阀：一次进样，无需更换色谱柱即可完成对氢、氧、氮、氩、一氧化碳、甲烷、二氧化碳等多种样品中痕量杂质的分析。
    专用毛细管色谱分离系统 VALCO 套 1 用于分离硅烷中的微量：
    甲硅醚；甲基硅烷；乙硅烷
    色谱柱:
    Hayesep -Q
    Hayesep -DB
    5A;硅烷毛细管柱    		  
    VALCO    		  
    根    		  
    6    		 1.可分离样品中的H2、O2
    (Ar)、N2、CO、CO2、CH4等杂质
    2.CO拖尾处理技术
    硅烷取样系统 克柔姆 套 1 专为高纯硅烷色谱分析设计
    含吹扫气路与取样气路。
    载气(He)纯化器:
    HP-2    		 VALCO 台 1 He中杂质含量≤10ppb
    载气过滤器 VALCO 个 1 2μm孔径
    样品过滤器 VALCO 个 1 2μm孔径
    标准气体:
    (10PPM)    		 克柔姆 套 1 含: H2, O2, Ar, N2,
    CO, CH4, CO2
    高纯氦气:40L 用户自备 瓶 1+1 纯度不低于99.999%
    高纯氮气:40L 用户自备 瓶 1 作为VALCO吹扫阀的保护及驱动气使用
    无死体积专用取样阀带吹扫1/8”口 克柔姆 个 4 取样时防止空气渗入，带放空结构设计
    载气专用两级不锈钢减压阀1/16”口 HORO 个 2 配:进口
    载气四通切换阀 1/16”口 只 1 配:进口
    高纯气专用
    色谱工作站    		 克柔姆 套 1 自动控制切割、反吹、进样等过程；并实现对色谱主机的操作控制
    电脑与打印机 联想/HP 台 1 可另选配
    安装调试费：免费
    技术服务及培训费：免费(1.发货前;2.安装调试中;3.公司定期办培训班时.)
    随机备品、备件、工具、材料费（附件四）：随机
     
     
    硅烷色谱图谱
      

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