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日立 FT150系列 荧光X射线镀层膜厚测量仪

仪器编号
FT150 FT150h FT150L
仪器参数
[{"产地类别":"进口X射线荧光测厚仪"}]
生产厂家
日立仪器（上海）有限公司
仪器介绍
概要：使用新开发的X射线聚光用多毛细管的产品阵容诞生了。另外，以X射线检测结构为中心，对各类元件进行最佳优化，从而大幅提高了检测灵敏度，在不损失检测精度的前提下实现了的高处理能力。并且，对设备进行了重新设计，使得样本室的使用，以及对检测点的检查变得更为容易。参数：基本参数：型号：FT150（标准型）FT150h（高能量型）FT150L（大型线路板对应）测量元素：原子序数13（Al）～92（U） X射线源：管电压：45 kV FT150：Mo靶 FT150h：W靶 FT150L：Mo靶 检测器：Si半导体检测器（SDD）（无需液氮） X射线聚光：聚光导管方式 样品观察：CCD摄像头（100万像素） 对焦：激光对焦、自动对焦 最大样品尺寸：FT150:400(W)×300(D)×100(H)mm FT150h:400(W)×300(D)×100(H)mm FT150L:600(W)×600(D)×20(H) mm 工作台行程：FT150:400(W)×300(D) FT150h:mm400(W)×300(D) FT150L:mm300(W)×300(D) mm 操作系统：电脑、22英寸液晶显示屏 测量软件：薄膜FP法（最多5层膜、10元素）、检量线法、定性分析 数据处理：Microsoft Excel、Microsoft Word 安装 安全功能：样品门联锁 消耗电量：300 VA以下特点：1．显微领域的高精度检测通过采用新开发的多毛细管，以及对探测器的优化，在实现照射半径等同于旧有型号FT9500X为30 μm（设想FWHM： 17 μm）的基础上，进一步将处理能力提高到了2倍以上。2．产品阵容适应各类检测样本针对检测样本的不同种类，可在下列3种型号中进行选择。　　●测量引线架、连接器等各类电子元器件的微型部件、超薄薄膜的型号　　●能够处理尺寸为600 mm×600 mm的大型印刷电路板的大型印刷电路板用型号　　●适合对陶瓷芯片电极部分中，过去难以同时测量的Sn/Ni两层进行高能测量的型号3．兼顾易操作性与安全性放大了开口，同时样本室的门也可单手轻松开闭。从而提高了取出、放入检测样本的操作简便性，并且该密封结构也大大减少了X射线泄漏的风险，让用户放心使用。4．检测部位可见通过设置大型观察窗、修改部件布局，使得样本室门在关闭状态下亦可方便地观察检测部位。5．清晰的样本图像使用了分辨率比以往更高的样本观察摄像头，采用全数码变焦，从而消除位置偏差，可以清晰地观察数十μm的微小样本。另外，亦采用LED作为样本观察灯，无需像以往的机型那样对灯泡进行更换。6．新GUI将各类检测方法、检测样本都以应用程序图标的形式进行了登记。图标皆为检测样本的照片、多层膜的图示等，因此登记、整理起来就很方便，从而使得用户可以不走弯路，直接进行检测。使用检测向导窗口来指导操作。通过与检测画面联动，逐步引导用户执行当前所需进行的工作。

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