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MProbe系列薄膜测厚仪

仪器编号
MProbe系列
仪器参数
[{"产地类别":"进口在线测厚仪"}]
生产厂家
铂悦仪器（上海）有限公司
仪器介绍
当一束光入射到薄膜表面时，薄膜上表面和下表面的反射光会发生干涉，干涉的发生与薄膜厚度及光学常数等有关，反射光谱薄膜测厚仪就是基于此原理来测量薄膜厚度。反射光谱干涉法是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。测量范围: 1 nm - 1 mm波长范围: 200 nm -8000 nm光斑尺寸:2mum -3 um产品特点：a. 最高的测量精度：0.01nm或0.01%b. 准确度：1nm或0.2%c. 稳定性：0.02nm或0.02%d. 强大的软件材料库，包含500多种材料的光学常数e. 通过Modbus TCP或OPC协议，与其他设备联用适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。比如：氧化物，氮化物，光刻胶，高分子聚合物，半导体(硅，单晶硅，多晶硅)，半导体化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬涂层(碳化硅，类金刚石炭)，聚合物涂层(聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)标准配置中包含：1. 主机(光谱仪，光源，电线)2. 反射光纤3. 样品台及光纤适配器4. TFCompanion软件5. 校准套装6. 测试样品，200nm晶圆多种型号可选，每个型号对应不同的测量范围：测量n和k值，其厚度范围需在25纳米和5微米之间广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：半导体晶圆，薄膜太阳能电池，液晶平板，触摸屛，光学镀膜，聚合物薄膜等

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