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超高分辨热场发射扫描电子显微镜

仪器编号
JSM-7610F
仪器参数
[{"二次电子图象分辨率":"1.0nm(15kV);1.3nm(1kV)"},{"加速电压":"0.1-30kV"},{"放大倍数":"25-1,000,000"},{"仪器种类":"场发射"}]
生产厂家
日本电子株式会社(JEOL)
仪器介绍
仪器简介: JSM-7600F是日本电子株式会社2008年下半年推出的兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜,它几乎集成了当今扫描电镜的全部前沿技术,最大200nA的大电流在保证高分辨率的同时,得到高速样品分析结果,空间分辨率极高,对导电性差的样品也有很多解决办法。JSM-7600F自动化程度高,操作直观方便,可以称得上是一款高档次的场发射扫描电镜。详情请咨询日本电子株式会社各地事务所。技术参数:1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)2.加速电压:0.1KV-30kV3.放大倍数:25-100万倍4.样品室尺寸:最大200mm直径样品5.束流强度:1pA到200nA主要特点:长寿命高亮度电子枪,寿命保3年,最大电流400nA以上兼顾超高分辨和大电流无漏磁和半漏磁物镜可切换标配的五轴马达驱动全对中样品台全自动样品更换气锁全自动样品台监控系统全自动物镜光阑多通道显示系统减速系统标准配置能量过滤器标准配置可以选配1.5nm高分辨LABE背散射电子探头可以选配扫描投射探头(STEM)