你好，欢迎来到试验技术专业知识服务系统

Park Systems NX20 原子力显微镜

仪器编号
NX20
仪器参数
[{"仪器种类":"原子力显微镜"},{"样品台移动范围":"150mm*150mm (可选200mm*200mm)"},{"样品尺寸":"直径≤150mm(可选200mm)"},{"定位检测噪声":"-"},{"产地类别":"进口仪器"}]
生产厂家
Park Systems
仪器介绍
领先纳米测量工具助推缺陷分析和大型样品研究作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球最精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。最强大全面的分析功能Park NX20具备独一无二的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针尖端更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。*技术信息NX20的创新构造让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和深刻洞察力所需的。表面粗糙度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的缺陷分析和质量保证。高分辨率电性扫描模式最快的扫描式电容显微镜无横向摩擦导电原子力显微镜True Sample Topography?(真正样品扫描），让压电蠕变无影踪我们的原子力显微镜配有最有效的低噪声Z轴探测器，宽噪音带宽仅有0.02 nm。这能够带来超精确样品形貌，不受沿过冲影响，且无需校准。这仅仅是Park原子力显微镜为您节省时间和带来更好数据的方式之一。*技术特点1. 100 μm x 100 μm扫描范围的XY平板扫描器XY平板扫描器，采用压电堆栈设计，减少传统扫描过程中XY的正交影响，具有高速的响应频率，实现精确的样品纳米级扫描.2.高速Z轴扫描器，扫描范围达15 μm高强度压电堆栈和挠性设计，标准Z轴扫描器的共振频率大于9kHz(一般为10.5kHz）且探针的Z轴扫描速率不低于48mm/秒。 Z轴最大扫描范围可从标准的15 μm扩展至30 μm（长范围Z扫描头）。3.低噪声XYZ位置传感器低噪声XYZ闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下。4.集成编码器的XY自动样品载台编码器可用于所有自动样品载台，并可保证更高的重复定位精度，从而可更精确地控制样品测量位置。XY马达动工作时分辨率为1 μm，重复率为2 μm。Z马达运动的分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。5.自动多点样品扫描借助驱动样品台，可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：1)扫描成像2)抬起悬臂3)移动驱动平台到设定位置4)进针5)重新设定位置扫描成像该自动化功能可大大减少扫描过程中人工的移动样品，从而缩短测试时间，提高生产率。6.操作方便的样品台独特的头部设计，可使用户从侧面操作样品和探针，根据所选择样品台的行程范围，用户在样品台上可放置的最大样品直径200 mm。7. 用于拓展扫描模式易插拔扩展槽您只需要将可选模块插入扩展槽，便可激活拓展扫描显微镜模式。得益于 NX系列原子力显微镜的模块化设计，其产品线的配置兼容性大大提高。8. 同轴高功率光学集成 LED照明 和CCD系统定制物镜配有超长工作距离（50 mm，0.21的数值孔径，1.0 μm的分辨率），带来前所未有的镜头清晰度。同轴光源设计让用户可轻易地在样品表面找寻找测试区域，物镜最小分辨率为 0.7 μm。得益于CCD的高端传感器，在获得较大视场的同时，但分辨率却不受影响。由软件控制的 LED光源能为样品表面提供足够的照明，便于清晰观察样品。9. 扫描头滑动嵌入式设计您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜扫描头。该设计可将扫描头自动锁定至预对准的位置，无需调节激光位置，激光自动投射在针尖上。借助于相优异的四象限检测器，显微镜可精确成像并可准确测定力. 距离曲线。10.自动Z轴移动和聚焦系统高度限行Z轴移动和聚焦系统，可以得到清晰的视野和图像，用户通过软件界面进行操作，由高精度步进电机驱动，即使液体或者透明样品也可快速找到样品表面。11.高速24位数字电子控制器所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理。 该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-Contact?模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成像和精确电压、电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是资深研究员的最佳选择。XY. Z轴检测器的24位信号分辨率? XY轴的最小分辨率为0.003nm （50 μm XY扫描器 ）? Z轴的最小分辨率为0.001nm （15 μm Z扫描器 ）嵌入式数字信号处理功能? 三个锁相放大器? 探针弹簧系数校准（热方法）? 数字化Q控制集成式信号端口? 专用可编程信号输入/输出端口? 7个输入端口和3个输出端口ParkNX20可以满足科研工作者需要的多种扫描模式，并能满足您的所有研究需求。- 自动数据收集和分析，适合工业客户产线测量Park 的自动化控制软件，根据你的预设程序，自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据，执行模式识别，并使用它的寻边器和光学模块进行分析，不需要人工介入，为您节省测量时间。-倾斜样品倾角夹具，可以帮助您进行样品侧壁成像NX20 的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。这项设计赋予了这个单位更多的灵活性，您可以做更多的创新研究和获得更深的见解。? 倾斜角度:10°、15°和 20°? 样品尺寸:20 mmx20 mm? 样本厚度:2 mm-嵌入主动温度控制的隔音罩可以让您采取更精确的测量? 创新设计使系统快速达到其温度平衡。? 10分钟内使测试环境温差小于0.05℃。? 集成式主动减震台，优于老式的气动平台，减震效果更佳。-闭环控制电动位移台? XY载台马达位移机械分辨率为1 μm，重复率为2 μm。? Z向马达位移分辨率为0.1 μm，重复率为1 μm。-样品盘? 专用芯片样品盘? 真空吸附盘? 最大200mm晶圆盘-探针夹具? 固定扫描探针? 可进行导电学性能测试? 针尖电压: -10 V ~ +10 V-XY 扫描器? 20 μm x 20 μm? 50 μm x 50 μm? 100 μm x 100 μm-Z 扫描器? 15 μm? 30 μm-精确的温度控制? 加热和冷却台(0 ~ 180oC)? 250oC加热台? 600oC加热台Park NX20 技术参数- XY扫描器闭环控制XY平板扫描器扫描范围: 100 μm × 100 μm50 μm × 50 μm25 μm × 25 μm 20位位置控制和24位位置传感器- Z扫描器导向强力Z扫描器扫描范围：15 μm 30 μm 20位位置控制和24位位置传感器-视场&CCD同轴光源设计10倍光学物镜和数码放大光学物镜视场: 840 μm × 630 μmCCD:5M-光学物镜10× (0.21 NA) 超长工作距离镜头的物镜20× (0.42 NA) 高分辨率，长工作距离镜头的物镜- 软件专用系统控制和数据采集软件智能扫描模式通过外部程序控制脚本级别（选配）- NXIAFM数据分析软件- 电性能信号处理ADC: 18 通道ADC通道 (64 MSPS)24-bit ADC 的 X, Y 和 Z 扫描器位置传感器DAC:12通道ADC通道 (64 MSPS)20-bit DAC的 X, Y 和 Z 扫描器定位最大数据量：4096 x 4096像素-集成功能3通道数字锁相放大器探针弹性系数校准(热方法)数据Q控制-选项/模式真正非接触模式接触模式侧向摩擦力显微术 （LFM)相位成像轻敲模式-电学特性测量扫描电容显微镜(SCM)导电原子力显微镜静电力显微镜 （EFM)压电力显微镜 （PFM)扫描开尔文探针显微镜 （SKPM/KPM)压电力显微镜PFM- 一般特性磁力显微镜 （MFM)扫描热感显微镜(SThM)力－距离（F-D)曲线扫描隧道显微镜(STM)力调制显微镜(FMM)纳米压痕纳米刻蚀纳米操纵

相似仪器