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仪器编号: AURIGA
仪器参数: [{"仪器种类":"场发射"}]
生产厂家: 卡尔蔡司(上海)管理有限公司
仪器介绍: 这是一台最新设计的聚焦离子束系统，具备高分辨率成像功能。它由电子束系统(SEM)和离子束系统(FIB)组成，可以进行材料的刻蚀，沉积和TEM制样。它可以进行实时（在刻蚀或沉积时）观察（SEM）以及其它分析。 AURIGA 基本参数分辨率 SEM FIB GEMINI column 1.0 nm @ 15 kV 1.9 nm @ 1kV Cobra column: 2.5 nm @ 30kV Canion column: 7nm@ 30kV 放大倍数 12x – 1000 kx 300x – 500 kx 束流 4pA – 20 nA (80nm 可选) 1 pA – 50 nA 加速电压 0.1 － 30 kV 1.0 – 30 kV 发射器热场(Schottky) Ga 离子源（LMIS）气体注入器系统 a) 5个（Pt,C,W, 碘，绝缘体,氟化物等） b) 4个＋局部电荷中和器（可使用所有的标准探测器） c) 一个 d) 在使用局部电荷中和器时，可使用所有的标准探测器样品台 6 轴超优中心马达台移动范围 X,Y ＝ 100 mm Z ＝ 55 mm Z” ＝ 10 mm 倾斜＝ -10 － 60度，旋转＝360度连续 AWD(分析工作距离)＝5－8.5 mm 样品交换室 80 mm / 100 mm 手动样品交换探测器高效环形 In-lens 二次电子探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器镜筒内置式 EsB背散射电子探测器（带0－1500V过滤网）二次离子探测器（SESI）固体背散射电子探测器 BF/DF STEM探测器样品室 330 mm(直径)，266 mm(高) 15个接口可安装 STEM,4QBSD,EBSD,EDS,WDS,SIMS,GIS系统，局部电荷中和器等 2个观察用CCD. 操作显示系统基于Windows操作系统上的SmartSEM操作界面。由鼠标，键盘，操作杆控制或控制板（可选）

聚焦离子束系统

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