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英国Deben EBIC放大器(感生电流成像)

仪器编号
EBIC
仪器参数
[{"产地类别":"进口"}]
生产厂家
南京覃思科技有限公司
仪器介绍
英国DEBEN EBIC放大器Deben旗下KED出品的EBIC，是一款样品电流和电子束感生电流测量放大器，可进行吸收电流测量、吸收电流成像和电子束感生电流成像，可用偏压样品。执行EBIC成像所需的设备是扫描电子显微镜、EBIC放大器和电真空馈通。从电子束注入的电子打破半导体均衡状态，产生电子/空穴对，EBIC信号主要是从嵌入的扩散层（晶体管和二极管）产生，通过放大电子束产生的感生电流或电压，便可由该效应形成SEM监视图像。

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