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KLA-Tencor INM100显微镜

仪器编号
INM100
仪器参数
[{"组件类别":"光学元件"}]
生产厂家
新耕（上海）贸易有限公司
仪器介绍
應用： ◆多种成像方式（亮场、暗场、DIC及365nm UV成像等）可用于不同材料特性的分析； ◆最大样片尺寸可达8英寸，分辨率达0.13um； ◆先进的检测方式可用于硅片、光罩和其他材料的失效分析及工艺控制。半自动化的光学检测设备，被广泛应用于检测硅片、光罩、MEMS以及相关产品。采用了高质量的Leica 镜头，配激光自动聚焦系统。◆具紫外光成像功能，成像清晰，分辨率高； ◆模组自动化程度高； ◆软件操作简单易学； ◆机型小巧，产能高。

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