TMC主动隔振平光学台系统STACIS IIISTACIS最初设计用于隔离先进半导体工厂中的精密微平版印刷，计量和检测设备，现在是噪声环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不限于半导体工厂，故障分析实验室，纳米技术研究，纳米制造设施和材料研究。STACIS III包括一个新的和改进的数字控制器，DC-2020。新的双核处理器和以太网以及前后面板上的USB串行端口，这个新的先进的控制系统为用户提供了一个现代的，易于使用的图形用户界面（GUI）。通过全球数百个成功安装，STACIS是振动敏感度最高的仪器的理想振动消除系统。TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III特征及优点：最新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔振率大于90％降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行有效隔振范围，0.6Hz到150Hz获得众多用户的广泛认可和肯定6向自由度硬安装设计，无需空气悬架强大的控制系统无需定期重新校准point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）提高客户产品产量、质量、成品率。符合RoHS标准最宽的主动隔振带宽，完美的低频隔振效果亚赫兹的主动震动消除，最主要在0.6-6Hz频段内的隔振可堆叠式设计主动硬式安装结构、而非软式悬浮、无低频漂移、主动元件与刚性弹簧相连被动弹簧滤除了来自STACIS传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器负载可达2000kg市场上完美的主动隔振系统TMC主动隔振平光学台系统STACIS III® III性能规格：Active degrees of freedom6Active bandwidth0.6 Hz - 150 HzPassive natural frequency18 Hz vertical and horizontalEffective active resonant frequency0.5 HzIsolation at 1 Hz40% - 70%Isolation at ≥2 Hz≥90%Settling time after a 10 lb (4.5 kg) step input (10:1 reduction)0.3 secInternal noise<0.1 nm RMSOperating load range per isolatorLow capacity: 400-1100 lbs (181-499 kg)Med capacity: 900-2100 lbs (408-953 kg)Hi capacity: 1900-4500 lbs (862-2041 kg)Static lift capacity per isolator9000 lbs (4090 kg)Stiffness (1000 lb / 454 kg mass, Med capacity isolator)40,000 lb/in. (73 x 105N/m)Magnetic field emitted at maximum 4 in.(102 mm) from the isolator<0.02μG broadband RMS隔离器设计，尺寸，环境和实用要求Environmental and safetyCE and RoHS compliantActive isolation elementshigh-force piezoelectric actuators that receive signal from a high-voltage amplifier with an output of up to 800 VDCPassive isolation elementsingle stiff isotropic elastomer (no compressed air supply required)Vibration sensor elementsdownward facing geophone type inertial sensors that measure floor vibration below the isolator and deliver voltage proportional to the velocity of vibration motionActive feedback control loopFloor vibration is measured, processed and attenuated below the spring supporting the isolated surfaceIsolator dimensions (WxDxH)11.75 x 12.5 x 10.8 in.300 x 320 x 275 mmIsolator weight75 lb (34 kg)Operating temperature50° - 90° F10° - 32° CStorage temperature-40° - 130° F-40° - 55° CHumidity (operating)30 - 60%System power requirements100, 120, 230, 240 VAC50/60 Hz AC; <600 WCE compliantFloor displacement<480μin. (12μm) below 10 HzIsolator count per systemminimum of 3Optionslaminated stainless steel platforms, frames, risers, leveling devices, earthquake restraints, lifthoodsDC-2020 控制器规格Dimensions (WxDxH)19 x 8.5 x 1.75 in.483 x 216 x 45 mmWeight6.3 lb (2.9 kg)Processor150/75 MHz dual coreSampling rate10 kHzAnalog outputs16 channelsAnalog inputs16 channelsStatus lightsingle LEDFront panel ports1x serial USB 2.01x serial Micro-USB1x Ethernet RJ-452x BNCRear panel ports1x serial USB 2.01x Ethernet RJ-451x RS-232 DB-9 legacy serial for legacy STACIS 2100 isolatorsUser interfaceFront panel LCD displayCharacter menu on HyperTerminalExtended GUI for Microsoft WindowsEmbedded Ethernet GUISTACIS用户及应用领域：1、微电子、半导体晶片检测显微光刻技术掩膜校准2、科学研究、纳米技术SEM、TEMSTEM、SPM3、激光台生命科学、药物研发4、工业应用精密加工为什么要选择主动系统？从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这一低频处无法起到有效的隔振提高质量、生产量更加细小特色的成像能力前沿研究比气动平台更稳定满足SEM标准地点安装参数的唯一解决方案使得新实验室及研究设备的工程造价更低主动系统为何选择STACIS正中了科研者的的心声，提供了尽可能完美的无震环境。市场上完美强劲的低频隔振系统。目前所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统才能满足。STACIS首次发明于1990s，经TMC进一步发展，开发和安装了数以千计的主动隔振系统，这是主动隔振控制领域的提供的可靠解决方案。STACIS相比气动隔离器刚性大几百倍稳定时间作为对扰动的响应，由于独特的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。如下优势在业内都是无与伦比的STACIS的主动隔振带宽为0.6Hz-150Hz6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB从2-3Hz时，隔振可达90%(20dB)专业的环境调查1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波2、安装后可提供环境系统体系认证完善的环境调查服务开具专业环境报告提供震动、磁场、声波检测及解决方案TMC基于其广泛经验向用户推荐实用性方案40多年的行业经验，业内的领导者性能曲线?4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)现场图片