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Microworks光栅

仪器编号
Grating
仪器参数
[{"组件类别":"光学元件"}]
生产厂家
北京众星联恒科技有限公司
仪器介绍
公司介绍：德国Microworks 公司成立于 2007年, 是卡尔斯鲁厄理工学院（KIT）微技术研究所 (IMT) 衍生的子公司。通过使用X 射线和激光LIGA技术，Microworks为客户提供高精度微结构的产品。在微纳米技术领域，Microworks代表着高精度。在一个晶片内或者从一个晶片到另一个晶片，其最高纵横比和精度可以远低于1μm。其产品涵盖相衬成像光栅、微齿轮、双曲型电极、精密筛、近红外滤波器（选频滤波器）、微弹簧，RF等。产品介绍：X射线光栅的制作流程吸收光栅（a）准备光栅胶层（b）掩膜光刻胶层在X射线下曝光（c）形成精细的光刻胶结构(d）电镀金形成X射线光栅结构产品特点：高纵横比结构 极小周期 大面积X射线 标准结构面积 4英寸基板： 70~90mm的直径 6英寸基板：高达110mm(在某些情况 有限制） 更大尺寸选项 拼接多个光栅面板 在单个制作工艺上扩大结构面积（研发）弯曲光栅 椎束照射高纵横比光栅，为了避免影像影响，可采用弯曲光栅，可使用特殊的夹具来运输主要应用：用于Talbot干涉仪的X射线光栅 微焦源Talbot干涉成像仪光源：微焦X射线管E=25keV加速电压：40KV电流：120 μAG1：周期4.37 μm(Ni)G2： 周期2.4μm(Au）在SR装置BL-14C线站的Talbot干涉实验E=17.8 keV Al 滤片 2.0 mmG1：周期 2.4 μm (Ni）G2：周期 2.4 μm (Au）

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