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仪器编号: Filmetrics F3-XXT
仪器参数: [{"产地类别":"进口在线测厚仪"}]
生产厂家: 优尼康科技有限公司
仪器介绍: Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪测量厚度最大到 3 毫米的先进薄膜厚度测量系统对于大多数的膜厚测试系统来说，当厚度大于 100 微米后都变得非常困难。那是因为他们是通过反射率振幅干涉的光谱频率来算薄膜的厚度，会导致干涉频率超过光谱的分辨率。为了克服这个问题， F3-XXT 配备 Filmetrics 自主研发的光谱仪，材料达到 3 毫米厚度，它可以很好测量。引用特殊的光学配件，使光斑尺寸不到 25 微米，使得即使是较高粗糙度和不均匀性的材料都可以测量。几乎所有的半导体和介质材料都可以很好非常迅速的测试，并且在不到一秒钟的时间就可以将数据输出Filmetrics 优势桌面型薄膜厚度测量的全球领导者24 小时电脑、 Email、在线支持直观的分析软件附加特性嵌入式在线诊断方式免费离线分析软件精细的历史数据功能，帮助用户有效的存储，重现与绘制测试结果相关应用硅片厚度光刻胶厚度（如 SU-8 胶）集成电路故障分析玻璃和塑料板材