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仪器编号: STACIS® III
仪器参数: [{"产地类别":"国产光学平台"}]
生产厂家: 森泉光电有限公司
仪器介绍: STACISIII是最先进的主动振动隔离系统。采用先进的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和最先进的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。最初被设计用于先进半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。STACISIII包括一个新型改进的数字控制器----DC- 2020。它的前后面板上有新型双核处理器，以太网和USB串口，这个新型先进控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是最理想的振动消除系统。4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)更多详细信息请联系我们！