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仪器编号: JIB-4700F
仪器参数: [{"产地类别":"进口"},{"背散射电子图像分辨率":"2.5nm"},{"二次电子图象分辨率":"1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV）"},{"加速电压":"0.1-30kV"},{"放大倍数":"25-1000000X"},{"仪器种类":"场发射"}]
生产厂家: 日本电子株式会社(JEOL)
仪器介绍: 仪器简介：JIB-47000F是集成扫描电镜和聚焦离子束于一身高性能仪器。电子光学系统采用场发射电子枪，可以对进行实时研磨监控。该仪器又是一个微区观察、样品分析、微区研磨的集合体，应用范围广泛。技术参数：FIB 分辨率: 5nm, 30kV SEM分辨率: 1.2 nm（15 kV）1.6 nm（1KV） FIB束流：最大90nASEM束流：最大300nA气体输入系统 x1-3主要特点：监控、切割、组装和三维图像重构连续操作 2大束流，最大90nA 3.提供空前稳定的图像 4.气体注入系统用于刻蚀和沉积 5.最大装样 150 mm 6.气锁式样品交换 7.五轴全对中样品台 8.多个样品分析接口9.三维图像、能谱、EBSD