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牛津仪器X-Max电制冷能谱仪

仪器编号
EDS Inca X-Max
仪器参数
[{"探测器面积":"150mm2"},{"最大计数率":"200000"},{"峰背比":"200000:1"},{"分辨率":"200eV"},{"仪器种类":"进口产品"}]
生产厂家
牛津仪器科技（上海）有限公司
仪器介绍
仪器简介：X-MaxN 的晶体尺寸从适合于微米分析的20 mm2到纳米材料分析专用150 mm2的共四种可选。尤其是150 mm2为当今晶体面积最大的探测器，分析速度至少是普通探测器的两倍。总览探测器晶体尺寸可选，分别为150 mm2，80 mm2，50 mm2，20 mm2无论晶体面积或大或小，X-MaxN 的分辨率始终如一的好——并符合标准ISO15632:2012无论晶体尺寸如何，能谱仪外管尺寸及在电镜中的位置完全一致，确保相同条件下，计数率的增加只源于晶体尺寸的增加强大的低能端分析，所有晶体面积的能谱仪均保证由Be开始与上一代X-Max同，无论SEM或FIB均使用同一界面X-MaxN 的晶体面积有20mm2, 50mm2, 80mm2 and 150mm2 –其中150mm2 是当今晶体面积最大的能谱仪因其独特地外置型FET场效应管设计，X-MaxN 的分辨率完全不受晶体面积变化的影响始终如一，且保证全部具有优异的低能端检测性能探测器外管尺寸相同，意味着相同条件下，计数率仅与晶体面积有关保证所有晶体面积的能谱仪均具有优异的能量分辨率出众的低能端分析性能，保证所有尺寸的能谱仪皆可探测到Be元素使用大面积能谱仪意味着：低束流下有足够的计数率尽可能高的实现图像的可视性及准确性无需为能谱分析改变SEM的条件在相同束流下，极大地提高计数率缩短采集时间统计性更高实现小束斑下的能谱分析提高能谱检测的空间分辨率尽可能体现高分辨电镜的优势晶体面积越大，X-射线计数效率越高相同条件下，晶体面积越大：以前需要几分钟完成的工作，现在仅需要几秒钟——面/线分布更易获得采集时间相同，可极大地提高分析精度及统计性大面积能谱仪——快速获得所有显微分析结果优异的低能端分析性能X-MaxN 为低能端元素的分析做了巨大的优化——无论何种尺寸，均前所未有的表现出优异的低能端分析性能所有尺寸的能谱仪均可保证检测到Be，可获得SiLI峰的面分布超大面积的能谱仪——均具有优异的低能端分析性能优异的空间分辨率高空间分辨率，X射线扩展区域更小大面积能谱仪可以在低加速电压及低束流下采集X-射线纳米尺度的特征可以更好的被检测到超大面积的能谱仪——使高级的纳米分析成为可能150 mm2 的能谱仪比小晶体面积的优势在哪里？举例为证。加速电压20kV，束流不到2nA时，150 mm2 的能谱仪每秒即可输出200,000的计数。而使用10 mm2 的能谱仪时，需要近20nA下才可达到相同的计数率。下图显示不同束流下的典型计数率，20kV下分析纯Mn时，探测器检出角30°且距样品45mm。使用大面积能谱仪，无需增加束流即可极大地增大计数率。也就是说在低束流下，保证高空间分辨率及低辐照损伤的同时可以获得足够多的计数。左图显示束流增加对改善图像质量的影响。点击图像可查看大图当使用晶体面积小的能谱仪，需要高束流来满足足够的计数率，但会损害空间分辨率。超大面积能谱仪X-MaxN 150可以在低束流即高空间分辨率下获得足够多计数，因此可以成功实现纳米材料的检测与分析。右图：纳米结构在5kV下的X-射线面分布。计数率相同时，150mm2的能谱仪所需束流更低，意味着空间分辨率足够高可以分辨出纳米尺度的变化，且极大地减弱了样品的辐照损伤。相反，10mm2的能谱仪则需要更高的束流，却会严重损害空间分辨率，使得面分布图像模糊不清。右图：在0.2 nA, 3 kV下使用150 mm2 X-MaxN 的能谱仪对记忆合金中的纳米结构进行分析。可以观察到FeLa，NiLa及CuLa峰显示出的纳米结构分布差异，最小可以区分出20nm宽度的结构。

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