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ORIONTM氦离子显微镜

仪器编号
ORION™
仪器参数
[{"仪器种类":"钨灯丝或六硼化镧"}]
生产厂家
卡尔蔡司(上海)管理有限公司
仪器介绍
ORION?显微镜的基础是革命性的、原子尺寸的、ALIS气体场离子源。由单个原子发出的，极其明亮的氦离子束克服了衍射和能量扩展的限制，正是衍射和能量的扩展影响了电子束在扫描电镜中的应用。 这就意味着ORION显微镜拥有一个非常小的束斑用于高分辨率成像。此外，在一个大大缩小了的相互作用区里，独特的氦离子束和样品的动力学结果贡献了更高的分辨率和内涵丰富的衬度机制 ORION?显微镜也可以使用背散射氦离子成像，具有很强元素衬度的这种技术，提供了在样品表面区分不同材料的能力 ORION?显微镜灵活性高、功能多样，能够提供广泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、电压衬度、晶体学、表面和次表面信息，这种技术的另一个好处是在绝缘样品上的卓越性能。 ? 一流的材料衬度 ? 超高分辨率 ? 广泛的分析信息 ? 简单的样品制备 ? 离子源工作稳定、长寿命 ORIONTM基本规格 分辨率 0.75 nm @ 45 kV @工作距离4 mm 1.0 nm @ 30 kV @工作距离4 mm 2.5 nm @ 10 kV @工作距离4 mm 放大倍数 100x - 1,000,000x 视野 1 mm - 100 nm 离子束 1 pA时<1 nm 离子束电流1 fA - 25 pA 离子源 氦气体场离子源 寿命 1000 小时 离子源电动对中 样品室 体积 400 mm3 基本真空度 2x10-7 Torr 接口板可定制 载物锁 图像探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器 微通道板（选配） 透射电子探测器（选配） 样品台 5轴电动样品台，X、Y轴行程50 mm，Z轴行程12 mm，360º 旋转，0º到45º倾斜 真空系 统 无油无微粒低真空泵设计 磁悬浮涡轮分子泵 摄像机 三台监控摄像机——离子源观察、样品台观察、样品室观察 用户界面 两台20英寸平板显示器 图像2048 x 2048像素 系统主要参数存档功能分辨率 0.75 nm @ 45 kV @工作距离4 mm 1.0 nm @ 30 kV @工作距离4 mm 2.5 nm @ 10 kV @工作距离4 mm 放大倍数 100x - 1,000,000x 视野 1 mm - 100 nm 离子束 1 pA时<1 nm 离子束电流1 fA - 25 pA 离子源 氦气体场离子源 寿命 1000 小时 离子源电动对中 样品室 体积 400 mm3 基本真空度 2x10-7 Torr 接口板可定制 载物锁 图像探测器 Everhart-Thornley二次电子探测器 微通道板（选配） 透射电子探测器（选配） 样品台 5轴电动样品台，X、Y轴行程50 mm，Z轴行程12 mm，360º 旋转，0º到45º倾斜 真空系 统 无油无微粒低真空泵设计 磁悬浮涡轮分子泵 摄像机 三台监控摄像机——离子源观察、样品台观察、样品室观察 用户界面 两台20英寸平板显示器 图像2048 x 2048像素 系统主要参数存档功能 一流的材料衬度 超高分辨率 广泛的分析信息 简单的样品制备 离子源工作稳定、长寿命

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