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TESCAN VEGA3大样品室钨灯丝扫描电镜（XM）

仪器编号
VEGA3 XMH/XMU
仪器参数
[{"产地类别":"进口"},{"背散射电子图像分辨率":"3.5 nm @ 30 keV (低真空模式)"},{"二次电子图象分辨率":"3.0 nm @ 30 keV"},{"加速电压":"200V~30KV，连续可调"},{"放大倍数":"1~1,000,000x"},{"仪器种类":"钨灯丝"}]
生产厂家
泰思肯（中国）有限公司
仪器介绍
仪器简介：VEGA 3 XMU/XMH是一款以高品质,完全计算机控制,用户友好界面为基础的产品.具有使用方便,产品质量稳定,分析高效为特点的独创设计.1.独有的四透镜大视野光学（WideFieldOptics?）和Tescan特有可优化电子束光阑的中间镜设计，提供了多种工作模式和显示模式。 2.成像速度快。 3.镜筒内没有需要机械对中结构，取而代之的是容易操作和保养的固定光阑。 4.以电磁的方式改变有效物镜光阑——中间镜起到“光阑转换器”的作用。 5.高吞吐量/自动取域。例：自动颗粒定点分析。 6.出众的电动载台设计，支持能谱仪（EDX），波谱仪（WDX），背散射电子衍射仪（EBSD）。 7.由于使用了强力的涡沦分子泵和机械真空泵，因而可以快速简单得到干净的真空样品室。 8.完善的显微镜自动设置包括电子光路设置和对中。 9.网络操作和内置的远程监控/诊断是Tescan的标准配备。 10.强大的自动功能:全自动真空控制,灯丝自动加热,自动电子枪校正(Autogunalignment),改变加速电压，自动补偿偏压,改变电子束大小， 自动调整电子束大小,依据讯号/噪声比自动调整扫描速度,自动对比/亮度调整,自动聚焦,自动调整像差等。 11.完全自动的软件安装. 12.强大的图象处理功能,使用专业的电镜控制软件,图像抓取,加工,处理和分析;I.影像显示尺寸 1)实时图像显示尺寸：共有512x512,768x768,1024x1024等3种方式。 2)储存图像显示尺寸：共有512x512,768x768,1024x1024,1280x1280,1536x1536,2048x2048,2560x2560,4096x4096，8192x8192等9种方式。 3)同时可选择正方形、4x3长方形、2x1长方形等3种尺寸。 4)可同时显示任意张实时影像或储存影像。II.扫描速度：从20ns/图素到10ms/图素，可阶级式或连续式的调整。III.聚焦窗口：可连续式调整聚焦窗口的大小和位置。IV.动态聚焦,点&线扫描V.图像处理(Imageprocessing)：提供锐化(Sharpening)﹐自动对比调整(AutoContrast)﹐去噪声 化(NoiseReduction)等15种图像处理功能。VI.量测功能：提供量测任意两点的距离，量测任意夹角，不规则形状的面积和周长，划指示箭头，写说明文字等13种图像量测的功能VII.图像存盘： 1).浏览已储存图像的相本。 2).找寻已储存图像的数据库系统。 3).报告产生及从程序中直接打印。 4).实时或储存的图像均可处理。 13.卓越的分析品质; 1)选择目标区域：以灰阶及彩色为起始点-针对选择的区域着色及量测。 2)3D扫描：可通过各探头的配合，显示真实的三维图象。 3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度标准来测量分析样品。 4)多图片校正：可以校正其它电镜拍摄的照片的放大倍数。 5)打印放大倍数：调整显示屏以及打印输出时放大倍数差异。 6)关机时间设定：可以设定第一次自动关机时间。 7)公差 可选配软件 8)形态学：该软件可对样品图片进行自动分析，测量和分类。其图片来源可以是显微镜，数码相机等。 9)颗粒度分析：可以对多区域内的样品进行自动测量，分析和分类（不过分析样品必须在扫描窗口内）。该软件结合形态学软件使用，功能更加完善。 10)自动连续截图 11)样品观测 12)鼠标连接：安装该软件后，可以用SEM的鼠标控制其他连接的设备的鼠标进行操作。技术参数：1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nm at 30keV，8.0nm at 3keV (背散射电子): 3.5 nm at 30 keV 低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 keV2.放大倍数:1 to 1000000× 3.真空系统:低真空3~2000Pa4.加速电压0.2KV to 30KV 5.电子束电流1pA—2uA 6.样品室内部尺寸:285mm(width)×340mm(depth) 7.样品台行程:(5轴马达控制） X=130mm Y=130mm Z=100mm T=-30°到+90° R=360°连续 最大样品高度145mm. 样品台最大承受重量10Kg，是现有可载重最大的扫描电子显微镜之一。*U型为高低可变真空，H型为高真空电镜主要特点：国内首家使用中文操作界面的电镜厂商 1.电磁式电子枪自动对中; 2.可以提供五种观察影像模式:分辨率模式;景深模式;视野模式;大视野模式,channeling模式，可以非常方便的寻找样品位置; 3.红外线样品室内摄像装置,可以在测量同时观测样品; 4.真空系统采用一台机械泵和一台分子泵,抽真空速度快,在更换样品后,三分钟内就可达到待测状态;并且不需要使用冷却水冷却. 5.采用气垫减震系统，减少对安装环境的要求6.先进的软件系统,在数据储存数据记录数据打印等方面具有多种创新功能. 7.11个以上外扩展接口. 8.可对SEM进行远程控制 9.最适合体积和重量大，不方便切割的样品观察和研究。

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