原理：
等离子体等离子体分析飞行时间质谱仪是一个全新的仪器，它结合了GD等离子体的溅射速度和飞行时间质谱的灵敏度，实现了高分辨率和高灵敏度条件下固体材料的快速化学深度剖析。

重点应用领域：
    掺杂分析（半导体、光电子、太阳能光伏、传感器、固态光源）
    表面和整体污染鉴定（PVD镀层、摩擦层、）
    腐蚀科学和技术（示踪物、标记监测、同位素分析）
    界面监测
 
 
参数：
  采集速率：每30μs一张全质谱
  质量分辨率：选择高分辨率模式时，在m/z208可达5000
  动态范围：10⁷
  质量准确度40ppm
  灵敏度:10³cps/ppm
  深度分辨率：nm
  正负离子模式
  4个离子的灵活消隐功能
  简单易用的水平样品装载
 
产品特点：
  样品分析快速无预处理：无需超高压腔
  适用于各种材料及镀层分析
  全质量覆盖：可提供从H到U元素的完整质谱和分子信息，包括同位素监测
  独有3D数据 ，脉冲射频模式(专利)
  高深度分辨率：测试薄层可至1nm到厚层：厚层可达100μm
  无需校准的半定量分析：溅射和电离过程分离，使得基体效应最小化

原理图：

应用实例：

富含O18氧化钽的同位素分析

Si PV的杂质识别

Si中B的定量掺杂

InGaN中Mg的定量分析