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日立高新分析超高分辨率肖特基热场发射扫描电子显微镜SU-70

仪器编号
SU-70
仪器参数
[{"二次电子图象分辨率":"1.0nm(15KV.WD=4.0mm)"},{"加速电压":"0.5-30KV(标准模式)"},{"放大倍数":"低：20-2,000x 高：100-800,000x"},{"仪器种类":"场发射"}]
生产厂家
日立高新技术公司
仪器介绍
仪器简介： 为了满足在同一台仪器上进行综合分析(需要大探针电流)和超高分辨率观察的需求，日立开发了SU-70。它采用成熟的超高分辨率半内透镜技术和热场发射电子枪，为探索纳米世界打开了一扇新的大门。技术参数：二次电子图象分辨率: 1.0nm(15KV.WD=4.0mm) 1.6nm(1KV.WD=1.5mm,减速模式) 2.5nm(1KV.WD=1.5mm) 放大倍数: 低放大倍数模式 20-2,000x 高放大倍数模式 100-800,000x 电子光学: 电子枪 ZrO/W 肖特基电子枪 电流 1pA-100nA 加速电压 0.5-30KV(标准模式) 着陆电压 0.1-2.0KV(减速模式) 透镜系统 3级电磁线圈系统 物镜光阑 4孔光阑,真空外选择和细调 样品台: 样品台控制 5轴马达控制 移动范围 X 0-110mm Y 0-110mm z 1.5-40mm T -0.5O-+700 R 360O 样品尺寸 直径150mm(标准) (最大) 直径200mm(可选) 探测器: 二次电子探测器 背散射电子探测器(可选) STEM探测器(可选) 法拉第杯(可选) X射线能谱仪(可选) X射线波谱仪(可选) EBSP探测器(可选) 阴极荧光探测器(可选)主要特点： 日立SU 70型热场发射电镜的物镜设计与以往有很大不同，它集成了广受好评的S-4800的半内透镜和ExB技术，可完成样品微观结构的高分辨观测；同时新设计的无外泄磁场观测模式能提供强大的探针电流，可以适应各种扩展分析的需求，是第一款集高分辨和高分析能力于一身的新型热场发射扫描电镜。

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