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仪器编号: AFM5500M
仪器参数: [{"仪器种类":"原子力显微镜"},{"样品台移动范围":"100mm*100mm"},{"样品尺寸":"直径≤100mm,厚度≤20mm"},{"定位检测噪声":"≤ 0.04 nm (High-resolution mode)"},{"产地类别":"进口仪器"}]
生产厂家: 日立高新技术公司
仪器介绍: AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高，配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换，激光对中，测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且，通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察分析。特点 1. 自动化功能高度集成自动化功能追求高效率检测降低检测中的人为操作误差 4英寸自动马达台自动更换悬臂功能2. 可靠性排除机械原因造成的误差大范围水平扫描采用管型扫描器的原子力显微镜，针对扫描器圆弧运动所产生的曲面，通常通过软件校正方式获得平面数据。但是，用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响，图片上经常发生扭曲效果。 AFM5500M搭载了最新研发的水平扫描器，可实现不受圆弧运动影响的准确测试。样品：硅片上的非晶硅薄膜高精角度测量普通的原子力显微镜所采用的扫描器，在竖直伸缩的时候，会发生弯曲（crosstalk）。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。 AFM5500M中搭载的全新扫描器，在竖直方向上不会发生弯曲（crosstalk），可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。样品: 太阳能电池(由于其晶体取向具有对称结构)* 使用AFM5100N（开环控制）时 3. 融合性亲密融合其他检测分析方式通过SEM－AFM的共享坐标样品台，可实现在同一视野快速的观察分析样品的表面形貌，结构，成分，物理特性等。SEM-AFM在同一视野观察实例（样品：石墨烯/SiO2）上图是AFM5500M拍摄的形貌像（AFM像）和电位像（KFM像）分别和SEM图像叠加的应用数据。通过分析AFM图像可以判断，SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。石墨烯层数不同导致表面电位（功函数）的反差。 SEM图像对比度不同，可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。与其他显微镜以及分析仪器联用正在不断开发中。

日立5500M全自动型原子力显微镜

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