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Park Systems NX10 原子力显微镜
仪器编号
Park NX10
仪器参数
[{"仪器种类":"原子力显微镜"},{"样品台移动范围":"20mm*20mm"},{"样品尺寸":"直径≤50mm, 厚度≤20mm"},{"定位检测噪声":"X-Y≤0.25nm, Z≤0.03nm"},{"产地类别":"进口仪器"}]
生产厂家
Park Systems
仪器介绍
Park systems NX10创新的功能满足创新的工作准确成像, 无交叉耦合现象-业界领先的XYZ轴线性度,样品和探针分别由独立的柔性制导扫描器控制移动-最低的平面偏移度,全程水平扫描时平面偏移量不超过1纳米-垂直扫描器全程伸缩时,线性度优于0.015%-优化的水平扫描器ringing现象, 科学的正向sine-scan算法准确扫描,真正的非接触模式-业界领先的垂直扫描器,带宽超过9kHz,探针垂直伺服响应速度超过62mm/sec-在非接触模式下最快的扫描速度-极低的探针磨损,能够保证长时间的高质量扫描-极低的样品损伤准确测量,真正的样品形貌-采用业界领先的低噪声迟滞检测器测量样品形貌-业界领先的极小正反测量偏离量,小于0.15%-采用优化的散热部件,极大地降低了系统热漂移和迟滞现象-功能强大的先进隔音罩,舱体内部主动控温用户工作效率-开放式的设计,方便更换探针和样品-探针预定位装夹设计,简单便捷的测量激光调节过程,具有专利的自上至下的直观观察系统-创新的“十秒进针”功能,探针可自动高速完成进针操作-24位数字电控箱,三组内置锁存放大器,具备Q-control和弹性常数校准功能* 技术参数XY扫描器 闭环控制式单模块柔性XY扫描器。扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)分辨率: 0.05 nm定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)水平线性: <2nm (over 40 μm scan)Z扫描器柔性引导高力度扫描器扫描范围: 15 μm (可选30 μm)分辨率: 0.015 nm定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)共振频率: 9 kHz (typically 10.5 kHz)表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)光学系统可观察样品和探针的直视同轴光学系统视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)CCD: 1M像素(像素分辨率: 0.4 μm)物镜10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率) 20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)信号处理ADC: 18个通道 4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS) X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCsDAC: 12 信道 2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS) X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs最大数据大小: 4096 x 4096 像素集成功能3个通道数字锁相放大器 热噪声法标定弹性系数 数码Q控制外部信号介入20个嵌入式信号输入/输出端口5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
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