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三维表面形貌测量仪InfiniteFocus G5

仪器编号
InfiniteFocus G5
仪器参数
[{"产地类别":"进口"},{"产品种类":"非接触式轮廓仪/粗糙度仪"}]
生产厂家
北京奥德利诺仪器有限公司
仪器介绍
自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5是奥地利Alicona公司研发生产的集微型三坐标测量和表面形貌测量于一体的光学测量系统。自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的突出特点：一款全方位的3D光学测量仪InfiniteFocus G5整合了微型三坐标测量系统和表面粗糙度测量系统所有的功能。万能和高效LED环形灯的设计，使表面测量的范围几乎不受限制。高分辨，高可重复性和可溯源即使对于复杂样品表面，仍可以获得高达10纳米的垂直分辨率高测量速度InfiniteFocus的测量速度可以达到170万点/秒。模块化和可扩展性新的功能可以很容易通过扩展测量模式整合全自动测量简单且自动化程度高，如自动更换物镜等自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5的主要技术参数：位移范围（X轴、Y轴、Z轴）：100mm×100mm×100mm样品表面结构：表面形貌Ra＞9nm，Lc=2μm，取决于表面结构最大样品高度：100mm ～ 345mm最大样品重量：30kg最佳水平分辨率：0.44μm最佳垂直分辨率：10nm最大扫描高度：22.5mm最大扩展视野范围：10000mm2最大单一方向扫描范围：100mm测量速度:170万个测量点/秒最小测量高度：0.01μm最大测量高度：22.5mm最大测量范围：10000mm2最大测量形貌长度：100mm最小可重复性：0.001μm最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm最小测量半径：1μm最小测量垂直角度：20°最大测量倾斜角度：87°自动变焦三维表面测量仪InfiniteFocus G5比InfiniteFocus G4拥有更优越的性能测量速度增加20倍自动设置适用更多材料及更复杂表面的测量更稳定，更精密的测量测量精度更高，尤其对于大范围面积样品的测量

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