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Talysurf CCI白光干涉表面轮廓仪

仪器编号
Talysurf CCI
仪器参数
[{"产品种类":"非接触式轮廓仪/粗糙度仪"}]
生产厂家
泰勒-霍普森有限公司
仪器介绍
仪器简介： Talysurf?CCI三维非接触形貌仪采用CCI（专利技术的相干相关算法）干涉原理，可高精度测量表面形貌、表面粗糙度及关键尺寸，并计算关键部位的面积和体积。主要应用于数据存储器件，半导体器件，光学加工以及MEMS/MOEMS技术以及材料分析领域。 技术参数： (1) 类型： CCI 干涉（相干相关干涉） (2) 分辨率： 0.1 A (3) 测量点数： 1,048,576 ( 1024 x 1024 点阵 ) 更详细参数和有关应用问题请垂询办事处产品负责人。 主要特点： ?专利的相干相关算法 ?0.01nm分辨率 ?10-20秒测量时间 ?RMS重复性：0.03A

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