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API新型XD激光干涉仪
仪器编号
XD
仪器参数
[{"产地类别":"进口激光干涉仪"}]
生产厂家
美国自动精密工程公司(API公司)
仪器介绍
APIXD激光干涉仪可以一机两用(干涉仪和自准直仪),同时一次安装可以测量(定位精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角)5-6个参数。API激光干涉仪在不影响仪器使用精度和功能的情况下,对传统激光干涉仪繁琐的光路调整与复杂众多的附件进行了改变。先后开发了LMS和XD型激光干涉仪,该仪器的结构紧凑,光路调整方便(可直接安装在机床工作台或导轨上),仪器体积小、重量轻、更便携。尤其是XD型干涉仪,它改变了LMS型数字传送线的困扰,全程测量实现无线通讯功能。采用干涉镜和控制箱与激光头集成一体的设计理念,设计时充分考虑了系统稳定性,具有同类仪器所无法比拟的高效性、高便携性及多功能的特点。五维(XD-5D): 1. 线性精度:0.5ppm 2. 测量范围:40米(1维可选80米) 3. 线性分辨力:0.001um 4. 直线度精度:(1+0.2/m)um或1%显示值 5. 最大测量范围:+/-500um 6. 直线度测量距离:0-40m 7. 偏摆角和俯仰角精度:(1.0+0.1/m)或1%显示值 8. 最大测量范围:+/-800角秒 9. 垂直度精度:+/-1角秒 10. 温度精度:0.2摄氏度 11. 压力精度:1mmHg (特注:API公司在中国设有测量中心,可承接测量任务)1. 方便携带(无控制电箱设计,全套系统总重小于15Kg) 2. 安装简便(两点式调光,无需三角架) 3. 高效测量(一次装调5-6个参数同时测出) 4. 高效补偿(空气温度,材料温度,空气压力)
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