仪器简介：

ZLS-24D/M型氦质谱检漏仪（以下简称仪器）：机内采用涡轮分子泵作主排气机，启动快（仅五分钟即可使用）。仪器可以在测试口压强大约为1000Pa时，采用逆扩散方式进行大漏检漏，也可以在测试口压强为优于50Pa时采用常规方式进行检漏；用常规方式检漏时，可以在分流状态下检漏（测试口压强在50～10-1 Pa），也可以在不分流状态下检微小的漏隙（测试口压强在优于10-1Pa时）。仪器能自动寻峰，读数方便,有音响报警装置。
主要技术参数：
仪器的启动时间：  不大于5min
最小可检漏率：优于1×10-11Pa.m3/s(负压法)
反应时间：  不大于3s
质谱室允许工作的最高压强：1×10-2Pa
测试口允许工作的最高压强：1000Pa
检漏接口：KF25
仪器的轮廓尺寸：  640*550*980 mm3
仪器的重量：      约75Kg
主要配置：     涡轮分子泵  一台     
               前级机械泵  一台
               粗抽机械泵  一台
               校准漏孔1只（有计量校验证书）
               质谱分析室1套（成都仪器厂）
               控制电路及电磁阀（成都仪器厂）
               工控计算机  1台
               喷枪1套（成都仪器厂）
              ZLS氦质谱检漏仪控制分析系统V1.0

仪器供电电源：220V±10%，功率约为2Kw