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日立 FT9355 X射线荧光镀层厚度测量仪

仪器编号
FT9355
照片
类型名称
X荧光光谱、XRF(能量色散型X荧光光谱仪)
仪器参数
  • 行业专用类型
    通用
  • 重复性
    0.1%
  • 能量分辨率
    小于140eV
  • 分析含量范围
    1ppm~99.99%
  • 元素分析范围
    Ti~u
  • 仪器种类
    台式/落地式能量色散型X荧光光谱、XRF
  • 生产厂家
    日立
    仪器介绍

    概要:

    高速X射线管球的搭载,FT9300系列实现了高精度的测定。而且配合极微小准直器和光学变焦镜头可以实现极微小部分的测定。更可以对有高低平面差异的样品进行测定。



    FT9300系列技术参数:

    可测量元素:原子序数22(Ti)~83(Bi)
    X射线源:小型空气冷却型高功率X射线管球(Mo靶)
                      管电压: 50kV 管电流: 1.5mA Be 窗
    滤波器:一次滤波器:Mo 二次滤波器:Co (自动切换)
    照射方式:上方垂直照射方式

    检测器:比例计数管
    准直器:方型:0.025×0.2mm 0.2×0.025mm 
                     圆形:Φ0.05mm Φ0.1mm Φ0.2mm

    安全性能:样品室门自锁功能、样品防冲撞功能、自动诊断功能

    样品图像对焦方式:激光自动对焦

    样品观察:彩色CCD摄像头 倍率光学器 卤素灯照明
    样品平台大小及承重:FT9300:240mm(W) ×170mm(D) 10kg 
                                               FT9350:420mm(W) ×330mm(D) 5kg 
                                               FT9355:700mm(W) ×600mm(D) 3kg

    重量:FT9300/SFT9350:125kg (不含电脑) 
                 FT9355:130kg(不含电脑)
    修正功能:底材修正、已知样品修正、人工输入修正
    测量报告书制作:配备MS-EXCEL® MS-WORD®(使用宏支持自动制作测量报告书)  测量能谱与样品图像保存功能



    FT9300系列特点:

    1. 75W高功率X射线管
     能够提高X射线的生产效率,实现高精度的测量,有效缩短测量时间,只需过去的1/4


    2. 超微小型准直器
     除了搭载了标准配置的50μm准直器,还配备了测量微小部位用的15μm准直器
     对应所选择准直器的实际X射线光束照射的尺寸,可以显示在样品画面上


    3. 倍率式光学系
         可以准确地对微小部分进行对焦,还可以对应各测量点间有高低的样品


    4. 实现了高精度自动X-Y-Z样品台与图像处理软件的高速自动测量


    5. 拥有防冲功能


    6. 搭载高精度样品平台,更可测量大型线路板(FT9355)


    7. 自动对焦功能
        配备激光自动对焦功能,能够准确对焦,提高测量效率。


    8. 即时生成测量报告的便捷性
        运用搭载的Microsoft Word® Excel® 可以简单轻松得到制作报告。


    9. 搭载了高功率X射线管


    10. 拥有自动测量软件以及中心搜索软件


    11. 搭载了薄膜FP法软件、图像处理软件以及块体FP法软件,可实现高精度几高效率的微小样品检测最小样品尺寸直径3.5um


    2.容易决定微小测量部位


    3.影像对焦系统


    4.凹凸样品的凹下部位的测量


    5.再现性佳