D8 DISCOVER with Davanci Design
布鲁克公司全新的D8 DISCOVER X射线衍射仪，材料研究领域的先进X射线衍射系统。采用创造性的达芬奇设计，配备了集成化的DIFFRAC.SUITETM软件，附件自动识别、即插即用以及完全集成化的二维XRD2功能。这些特征使得用户可以非常方便的在材料研究领域的不同应用之间切换，包括：反射率测量(XRR)、高分辨测量(HRXRD)、掠入射(GID)、面内掠入射(IP-GID)、小角散射(SAXS)以及残余应力和织构分析。
主要应用

高分辨XRD(HRXRD)
外延多层膜厚度
晶胞参数
晶格错配
组份
应变及弛豫过程
横向结构
镶嵌度

X射线反射率(XRR)
薄膜厚度
组份
粗造度
密度
孔隙度

倒易空间图谱(RSM)
晶胞参数
晶格错配
组份
取向
弛豫
横向结构

面内掠入射衍射 (in-plane GID)
掠入射小角X射线散射(GISAXS)
晶胞参数
晶格错配
横向关联性
取向
物相组成
孔隙度

应力和织构分析
取向分布
取向定量
应变
外延关联
硬度

物相鉴定(Phase ID)
物相组成
d值确定
择优取向
晶格对称性
晶粒大小

应用实例：

HRXRD 硬件设置                            LEPTOS(布鲁克公司高分辨数据分析软件)分析多层膜数据