仪器简介：

X'Pert PRO MRD/XL是高级半导体材料的标准装备，用于： 高级材料科学和纳米技术，半导体材料研究和生产质量控制，可以适用各种应用，尤其适合薄膜分析，例如： 摇摆曲线分析和倒易空间Mapping， 反射率和薄膜相分析，残余应力和织构分析， X'Pert PRO MRD/ XL 满足半导体、LED、薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以满足直径达 300 mm的晶片分析，并有精密的自动晶片装载选择；XL成为薄膜生产发展的先进的分析手段，LED的业界标准。
 
可以适用各种应用，尤其适合薄膜分析，例如： 
 
·  振动曲线分析和交互空间图
·  反射仪和薄膜相分析
·  残余应力和织构分析
 
同已经证明的标准版本系统一样，还有许多专门的版本： 
 
· X'Pert PRO MRD平面衍射系统，可以测量与样品表面垂直的晶格衍射 
· X'Pert PRO Extended MRD 允许装备 X射线镜像和在线高分辨单色器，增强入射光束的强度。
· X'Pert PRO MRD XL 满足半导体，薄膜和高级工业材料的所有高分辨XRD分析需要。

技术参数：
1，功率：3kW
2，测角仪重现性：0.0001度
3，测角仪类型：T-2T
4，五维样品台