ESCALAB 250Xi XPS 光电子能谱仪

Thermo Scientific ESCALAB 250Xi X射线光电子能谱仪结合了高灵敏度与高分辨率定量成像以及多种测试技术能力。
XPS是众多材料特性表征技术中行之有效的测试手段。目前已成为从生物材料到半导体材料等许多技术领域先进材料开发的重要工具。ESCALAB250Xi 能够满足不断增长的分析性能和灵活性的需求。此外，ESCALAB250Xi 提供的可选表面分析技术可用于补充应用 XPS 所获取的表征信息。先进的Avantage数据采集和处理系统确保了从测试数据中挖掘尽可能多的信息。

技术概览

ESCALAB250Xi 配备了微聚焦X射线单色器，提供优化的XPS性能。其市场领先的灵敏度确保了最大样本量。XPS并行成像是选择最好横向分辨率的方法，ESCALAB250Xi提供的成像空间分辨率优于<3μm。最新开发的成像检测器提供了“免签名“的定量数据。多技术能力和系列预备室及各种设备的可用性，确保该仪器将提供任何表面分析问题的解决方案。

主要特点

·              高灵敏度能量分析器

·              标配X射线单色器

·              小面积XPS

·              成像空间分辨率<3μm

·              定量成像

·              深度剖析性能

·              角分辨 XPS

·              微聚焦单色器

·              标准配置包含离子散射能谱（ISS）

·              标准配置包含反射电子能量损失谱（REELS）

·              标准配置包含预备室

·              多技术分析功能

·              多种样品制备选项

·              全自动无人值守式分析

·              多样品分析

·              基于Windows 的Avantage数据系统

X射线单色器

·              双晶体微聚焦单色器拥有500 mm直径罗兰圆，使用铝阳极

·              用户可选择200微米至900微米任何大小X射线光斑照射样品

透镜/分析器/检测器

·              透镜/分析器/检测器一体化使ESCALAB 250Xi具备同时拥有成像和小面积XPS测试能力的独特性

·              两种类型的检测器可以确保分析者为每种分析选用最佳的分析器——二维检测器用于成像，当检测到高计数率时能谱分析使用基于通道电子倍增器的检测器

·              配备两组电脑控制虹膜机制透镜——一组用于用户控制分析区域，小面积测试模式下可下降到小于20微米，另一组透镜用于控制接收角，对于高质量角分辨XPS至关重要

·              180°半球能量分析器

深度剖析

·              数字化控制的EX06离子枪可用于提供优异的深度剖析测试

·              即便使用低能离子，EX06离子枪同样是一款高性能的离子源

·              可用于深度剖析中样品原点多方位旋转刻蚀

·              多技术能力

·              设计用于其它分析技术，不局限于XPS测试

·              透镜组和能量分析器供电是可逆的——使用EX06离子枪，ISS（离子散射能谱）始终可用

·              电子枪加压可升至1000V，为REELS提供优异的离子源
技术选项

·              带非单色化X射线光源XPS

·              AES（俄歇电子能谱）

·              UPS（紫外电子能谱） 

真空系统

·              分析室使用5毫米厚钼合金材料制造，最大限度地提高磁屏蔽效率

·              与使用内部或外部屏蔽的屏蔽法相比，提供的屏蔽效能更佳 

样品制备

·              系统基本配置包含一体化的进样室和进样门锁机构