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硅单晶扩展电阻标准物质样片

样品英文名称
Standard Silicon Resistivity Specimen for Calibration of Spreading Resistance Measurements
样品批号
GBW13710
制备单位
中国计量科学研究院; 有色金属总公司峨嵋半导体材料研究所; 中国原子能科学研究院
样品形态(原始)
固态
尺寸规格
套(18)
样品用途
校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
注意事项
探针负荷力为10-45克，且使用时应在新抛光的表面上进行测试
定值单位
中国计量科学研究院; 有色金属总公司峨嵋半导体材料研究所; 中国原子能科学研究院
参数 标准值 相对不确定度(%) 单位
电阻率范围 10-3～103 5 电阻率范围(Ω·cm)

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