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纳米台阶高度标准物质

样品批号
GBW13951
制备单位
国家纳米科学中心; 中国计量科学研究院
样品形态(原始)
固态
尺寸规格
1个/盒
样品用途
校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
注意事项
避免阳光直射，防止撞击。使用过程中注意不能用手触摸硅基片，特别是标记用来扫描校准的区域，要用合适的镊子来夹取。触控型的探针进行扫描时，应避免使用小探针时加载过大压力而造成划伤。例如在半径小于等于1 μm的探针上加载超过0.1mN的压力时会划伤硅片表面。
分析方法
绝对测量法
保存方法
在洁净环境中室温保存
定值单位
国家纳米科学中心; 中国计量科学研究院
参数 标准值 相对不确定度(%) 单位
台阶高度 200 1.2 标称值（nm）

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