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扫描探针显微镜和扫描电子显微镜用一维纳米栅格标准物质

样品批号
GBW13956
制备单位
中国科学院物理研究所; 国家纳米科学中心; 中国科学院微电子研究所; 中国计量科学研究院
样品形态(原始)
固态
样品用途
校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
定值单位
中国科学院物理研究所; 国家纳米科学中心; 中国科学院微电子研究所; 中国计量科学研究院
参数 标准值 不确定度 单位
栅格长度 400.5 2.7 nm

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