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二氧化硅薄膜膜厚标准物质

样品批号
GBW13958
制备单位
中国计量科学研究院
样品形态(原始)
固态
尺寸规格
有证书，1片（证书批次值为准）
样品用途
校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
定值单位
中国计量科学研究院
参数 标准值 不确定度 单位
二氧化硅薄膜 20.87 0.36 膜厚（nm）

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