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氮化硅薄膜膜厚标准物质

样品批号
GBW13962
制备单位
中国计量科学研究院
样品形态(原始)
固态
尺寸规格
有证书，1片，104.91nm
样品用途
校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
定值单位
中国计量科学研究院
参数 标准值 不确定度 单位
氮化硅薄膜膜厚 104.91 0.32 nm

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