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硅单晶电阻率标准物质

样品批号
GBW(E)130061
制备单位
上海半导体器件研究所
样品形态(原始)
固态
尺寸规格
以片为单元，塑料盒包装
样品用途
校准仪器和装置；评价方法；工作标准；质量保证/质量控制；其他
注意事项
使用时应用镊子取出样片，放置测量样片台上。
保存方法
样品应放于洁净、干燥、通风的地方。
定值单位
上海半导体器件研究所
参数 标准值 相对不确定度(%) 单位
电阻率标称值 1 2.5 电阻率标称值(·cm)

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