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纳米五氧化二钽薄膜厚系列标准物质

样品批号
GBW(E)130421
制备单位
上海市计量测试技术研究院
样品形态(原始)
固态
样品用途
校准仪器和装置;评价方法;工作标准;质量保证/质量控制;其他
参数 标准值 不确定度 单位
膜厚 81.2 1.7 nm