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维纳尺度膜厚度椭圆偏振法测量能力验证计划

项目编号
NIM2022CL02
试验对象
维纳尺度膜
参数名称
1nm-10nm纳米尺度薄膜厚度;10nm-100nm纳米尺度薄膜厚度;100nm-1000nm亚微米尺度薄膜厚度
年份
2022
项目来源
中国计量科学研究院先进测量工程中心（计量检测与校准中心）
项目类型
能力验证

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