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单晶硅生长用石英坩埚

标准编号
JC/T 1048-2007
中图分类号
M33
ICS分类号
33.180.10
发布单位
中华人民共和国国家发展和改革委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2007-05-29
实施日期
2007-11-01