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Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

标准编号
GB/T 30653-2014
中图分类号
H21
ICS分类号
77.040.20
发布单位
国家标准化管理委员会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2014-12-31
实施日期
2015-09-01