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真空镀膜设备通用技术条件

标准编号
GB/T 11164-2011
中图分类号
J78
ICS分类号
23.160
发布单位
中国机械工业联合会
状态
现行
标准类别
国家标准
发布日期
2011-11-21
实施日期
2012-06-01
摘要
本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。 本标准适用于压力在10-5 Pa~10-3 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。

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